膜厚測試儀常用到的測試方法有哪些？
膜厚測試儀一般要求基材導(dǎo)磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導(dǎo)磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當(dāng)軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時(shí)，儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產(chǎn)品采用指針式表頭，測量感應(yīng)電動勢的大小，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。
如果經(jīng)常跟本測試儀打交道的朋友們都知道，該儀器是有好幾種測試方法的，比如有臺階測厚方法、熒光測厚度、金相測膜厚度、SEM測膜厚度、XPS深度剖析等等，若大家有想了解更多關(guān)于這些方法詳細(xì)內(nèi)容的，請看下面介紹。
一：臺階測厚方法
設(shè)備：臺階儀
此方法對厚度的測量范圍較寬，0.1μm到10μm均能檢測；但對樣品的要求很高，膜層與基材之間必須有臺階，且表面光滑。
二：熒光測厚度
設(shè)備：XRF測厚儀
此方法適用于測量厚度＞0.01μm的金屬膜層，可同時(shí)測量多層；在使用膜厚測試儀測量前需知道樣品的鍍膜工藝信息（如基材材料、膜層材料及順序）；可以實(shí)現(xiàn)無損檢測（視樣品）。
三：金相測膜厚度
設(shè)備：金相顯微鏡
此方法適用于測量厚度＞1μm的金屬膜層，可同時(shí)測量多層；被測樣品需要經(jīng)垂直于待測膜層取樣進(jìn)行金相制樣，再在金相顯微鏡下觀察并拍照測量待測膜層厚度。
四：SEM測膜厚度
設(shè)備：為掃描電子顯微鏡（SEM）
此方法測試范圍寬，適用于測量厚度0.01μm~1mm的金屬或非金屬膜層；樣品前處理與金相測厚相同，配有能譜附件（EDS）的SEM設(shè)備可以確定每一層膜層的成分。
五：XPS深度剖析
設(shè)備：X射線光電子能譜儀（XPS）
此方法適用于測量納米級厚度的膜層。XPS設(shè)備可以測試樣品極表面的元素成分（每次測量的信息深度為5nm左右），并且可以在樣品室內(nèi)直接對樣品表面進(jìn)行濺射，可以去除厚度（納米級）的表層物質(zhì)，膜厚測試儀的這兩個(gè)功能結(jié)合使用就可以測量出納米級膜層的厚度；
例如，樣品表面成分為銠元素，逐步濺射掉表面50nm后發(fā)現(xiàn)成分中開始出現(xiàn)大量的鉑元素，那么可以判斷測試位置銠膜的厚度約為50nm。
更新時(shí)間：2020-05-19 
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